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Sept. 2, 2025 Events

SEMICON India 2025

Treffen Sie uns von 2.–4. September im Yashobhoomi (IICC), Halle 1, Stand 1472 in Neu-Delhi.

Aug. 7, 2025 Company

VAT wird Co-Sponsorin und Marketingpartnerin des Hockey Club Davos (HCD)

Juli 23, 2025 Investoren Ad hoc

VAT Medienmitteilung zum Halbjahresabschluss 2025

Ad-hoc-Mitteilung gemäss Art. 53 KR

Juli 16, 2025 Investoren General

Einladung - Medien- und Analysten Telefonkonferenz und Webcast zum Halbjahresabschluss 2025

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Vakuum-Transfertüren

Dichtet, im Gegensatz zu einem Transferventil, nur eine Vakuumkammer zum Beladen oder zu Bearbeitung ab. Die andere Seite der Tür befindet sich daher immer unter Atmosphärendruck. Alle VAT Lösungen werden auf die jeweilige Anwendung maßgeschneidert.

Größe (mm)

Flanschtyp

Ventilfunktion

Actuation

06.6 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT
06.6

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

06.8 - Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT
06.8

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme

07.0 - HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
07.0 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

07.7 - Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT
07.7

Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display- und PV-Produktionssysteme

Die VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.

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