用干式蚀刻工艺批量制造多层叠片需要最佳的密封技术（具有自清洁功能）和整体可靠的工具设计，才能得以实现高正常运行时间。VAT真空阀解决方案提供了创新的功能，以确保提高工艺安全和增强工具的正常运行时间。

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